MEMS（微電子機械加工系統(tǒng)）技術(shù)的日趨成熟將為傳感器行業(yè)帶來一場新的革命，對于壓力、差壓、液位與流量傳感器/變送器而言，其封裝的傳感器芯片將本質(zhì)決定產(chǎn)品的性能與等級。以目前國際市場上廣泛采用的硅芯片技術(shù)而言，硅壓阻技術(shù)加工工藝成熟，但其信噪比特性與溫度特性有待提高；硅諧振技術(shù)加工工藝復(fù)雜，過壓特性不好；德爾森MD系列芯片采用創(chuàng)新的單晶硅雙梁懸浮式技術(shù)，結(jié)合了硅壓阻與硅諧振技術(shù)雙方特點，并以設(shè)計與工藝上做出了創(chuàng)新的優(yōu)化，實現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定性、低溫度影響，超高過壓等優(yōu)異性能，適用于工業(yè)過程控制、自動化制造、航天航空、汽車與船舶、醫(yī)療衛(wèi)生等多個領(lǐng)域。

德爾森MD系列高穩(wěn)定性單晶硅傳感器芯片，擁有多項全球的性能，并已批量投向國際市場，在歐洲、亞洲已廣泛應(yīng)用于石油化工，冶金電力，工業(yè)自動化、航空航天、物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點

■ 雙梁懸浮式技術(shù)MEMS技術(shù)

德爾森MD系列單晶硅芯片采用雙梁結(jié)構(gòu)，雙層惠斯通電橋布局，雙橋路相互補償，提高信噪比，達到溫度特性。中間層弧角式懸浮，有效分解應(yīng)力，實現(xiàn)超高過壓。

■ 1kPa ... 40MPa標準量程

1kPa,6kPa,40kPa,100kPa,200kPa,400kPa, 4MPa,40MPa八個標準量程，涵蓋過程控制全壓力范圍。全球最小量程1kPa，確保微差壓段性能。

■ 優(yōu)異的過壓性能

1kPa芯片過壓達1MPa（1000倍過壓）

6kPa芯片過壓達2.5MPa（417倍過壓）

絕大部分微差壓應(yīng)用可實現(xiàn)無中心膜片結(jié)構(gòu)，提高整體 準確度與靜壓特性，同時簡化傳感器結(jié)構(gòu)、降低成本，讓利于用戶。

■ 梅花鏡像布局

芯片惠斯通電電橋與引線布局，采用梅花鏡像對稱布局。 全對稱布局、均衡受力，減小噪聲來源，同時也方便一次封裝， 提高穩(wěn)定性與一致性。

■ 芯片單晶硅厚度達2.5mm

在硅芯片技術(shù)中，硅片的尺寸與有效硅層的厚度將對芯片的成本和性能起到很關(guān)鍵的作用。而且統(tǒng)一的傳感器芯片材質(zhì)，將更好的實現(xiàn)溫度特性，讓芯片在溫度變化時，應(yīng)力特性一致。德爾森MD系列芯片，采用全單晶硅材質(zhì)，尺寸與厚度都為行業(yè)內(nèi)大尺寸，不惜成本，注重品質(zhì)。

■ 高性能參數(shù)

隔離：200MΩ U=10V

靜壓影響：<0.1% FS/100bar

溫度影響：

1. 30℃→135℃→30℃（42h , MDS4）:最大輸出信號偏差僅為：-0.07uV/V

2. 30℃→-40℃→30℃（42h , MDS4）:最大輸出信號偏差僅為：-0.02uV/V

溫度影響為：＜ 0.05%FS/K

靈敏度：20mV/V

長期穩(wěn)定性：0.02% / 99% FS/1 年

工作溫度：-40 ~85 ℃

DKS-DP200系列差壓傳感器采用德國MEMS技術(shù)制成的單晶硅傳感器芯片、全球始創(chuàng)的單晶硅雙梁懸浮式設(shè)計，實現(xiàn)了國際的高準確度、超高過壓性能、優(yōu)異的穩(wěn)定性。內(nèi)嵌智能信號處理模塊，實現(xiàn)靜壓與溫度補償?shù)慕Y(jié)合，可在大范圍內(nèi)的靜壓和溫度變化下提供十分高的測量精度和長期穩(wěn)定性。

DKS-DP200差壓傳感器是被測壓力直接作用于傳感器正負壓腔的膜片上，使膜片產(chǎn)生與壓力成正比的微位移，并將該壓力差傳導(dǎo)至單晶硅芯片兩端，用集成電子電路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個相對應(yīng)壓力差的標準測量信號。

產(chǎn)品特點

■ 高準確度

由于采用了德國MEMS技術(shù)制成的單晶硅傳感器芯片，內(nèi)嵌德國原裝進口測壓膜盒與信號處理模塊。所有傳送器具有十分高的準確度。

■ 優(yōu)異的過壓性能

1kPa芯片過壓達1MPa（1000倍過壓）

6kPa芯片過壓達2.5MPa（417倍過壓）

■ 優(yōu)異的環(huán)境適應(yīng)性

應(yīng)用于各種惡劣環(huán)境，工作溫度范圍-40~85℃。智能靜壓補償和溫度補償，保護傳感器不受溫度、靜壓與過壓的影響，將現(xiàn)場的綜合測量誤差控制到最小。

■ 安裝便捷

傳感器配有各種安裝配件，適用于不同的安裝要求。

■ 適用于多種殼體

標準M45、G55接口適合于等多種殼體，也可客戶定制殼體連接方式。